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CVDイットリアコート
酸化物コーティング
Nanoメッシュ酸化チタン
大気開放型CVD装置
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酸化物膜コーティング

大気開放型CVD装置で各種酸化物膜コーティングをいたします。

酸化物膜ラインナップ

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>Y2O3 (酸化イットリウム-イットリア)



耐プラズマ性に優れた材料です。CVDならではの緻密膜です。
その他、Eu(ユーロピュウム)、Tb(テルビウム)を添加することにより
耐プラズマ性に優れた蛍光体の作製も可能です。

Y2O3:Eu (赤色蛍光体)
Y2O3:Tb (緑色蛍光体)

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Y2O3:Eu

ZnO (酸化亜鉛)



Alを添加し透明導電膜としてITOの代替で注目されている材料。
大気開放型CVD装置でも ZnO:Al の作製も可能です。
また針状のウイスカー形状の ZnO を成長させることも可能です。
ZnO Whisker

TiO2 (酸化チタン-チタニア)



光触媒の代名詞ともなっている TiO2 。ACVDで作製される TiO2 はNanoメッシュ構造※を有しています。表面積が大きいことから光触媒性能も優れています。
                               
※Nanoメッシュ構造                                   
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成膜料金

お客様より基材をお預かりして、各種酸化物を成膜致します。各種薄膜1サンプルから承ります。

成膜基本料金:24,000 + 各種薄膜価格×枚数


薄膜料金
Y2O3 35,000
Y2O3:Eu 40,000
Y2O3:Tb 40,000
ZnO:Al 20,000
TiO2 10,000
※□25mm、φ25mmの平板への成膜
※膜厚500nm程度
※基材の厚みは2mm程度までです。厚いものはお問合せください。
ZnOウイスカーについてはウイスカー長により価格が変わります。詳しくはお問合せください。
その他材料、サイズ、ご希望がございましたら、お問合せください。