真空排気不要のCVD装置

透明導電膜から高性能光触媒膜や耐プラズマ膜で注目されている酸化イットリウム膜の作製が可能です。

※現在、製作と販売は行っておりません。

施工条件

処理温度　：３５０ ～ ６５０℃（最大７００℃）

処理サイズ：□25 x 25 mm2（膜厚均一性有効面積）

　　　　　　□110 x 110 mm2（プレートサイズ）

材質　　　：石英ガラス、セラミックス、金属

参考事例

酸化亜鉛ウイスカ

ZnO Whiskers

蛍光体薄膜

red phosphor

Y2O3:Eu