プラズマや腐食性ガスに対する耐食性に優れているイットリア(Y2O3)のCVDコーティング。
パーティクル低減などにより半導体装置部品の長寿命化に役立ちます。
特徴
弊社のコーティングは、アルミナの凸凹表面にも緻密にコーティングができる優れた段差被覆性があり、立体物に対しても緻密膜をコーティングできます。
・優れた耐ハロゲン性
・優れた段差被覆性
・立体物へのコーティング
![](https://www.cvd.co.jp/wp/wp-content/uploads/2020/11/img_yttrium_02-1-1024x1022.jpg)
![](https://www.cvd.co.jp/wp/wp-content/uploads/2020/11/img_yttrium_01.jpg)
施工条件
処理温度 :400 ~ 500℃
処理サイズ:φ500mm x H200mm(大型装置)
φ150mm x H150mm(小型装置)
材質 :石英、セラミックス、金属
詳細はお問い合わせください。
耐プラズマ試験
エッチング速度はサファイアの約1/10、石英ガラスの約1/100
エッチング速度 | |
CVDイットリアコート | 1nm/min |
サファイア | 10nm/min |
石英ガラス | 100nm/min |
![](https://www.cvd.co.jp/wp/wp-content/uploads/2020/11/img_yttrium_03.jpg)
試験後
左:イットリア付石英ガラス
右:石英ガラス
腐食性ガスにより失透
技術情報
不純物データ(impurity)PDFデータ:ダウンロード
![](https://www.cvd.co.jp/wp/wp-content/uploads/2020/12/Y2O3coat-impurity.png)
物性データ(physical property)PDFデータ:ダウンロード
![](https://www.cvd.co.jp/wp/wp-content/uploads/2020/12/Y2O3coat-physical-property.png)
密着力試験データ(peel strength)PDFデータ:ダウンロード
![](https://www.cvd.co.jp/wp/wp-content/uploads/2020/12/Y2O3coat-peel-strength-1024x610.png)
パンフレット(PDFデータ)