プラズマや腐食性ガスに対する耐食性に優れているイットリア（Y2O3）のCVDコーティング。
パーティクル低減などにより半導体装置部品の長寿命化に役立ちます。
特徴
弊社のコーティングは、アルミナの凸凹表面にも緻密にコーティングができる優れた段差被覆性があり、立体物に対しても緻密膜をコーティングできます。
・優れた耐ハロゲン性
・優れた段差被覆性
・立体物へのコーティング
施工条件
処理温度 ：４００ ～ ５００℃
処理サイズ：φ５００mm x Ｈ２００mm（大型装置）
φ１５０mm x Ｈ１５０mm（小型装置）
材質 ：石英、セラミックス、金属
詳細はお問い合わせください。
耐プラズマ試験
エッチング速度はサファイアの約１／１０、石英ガラスの約１／１００
| エッチング速度 | |
| CVDイットリアコート | 1nm/min |
| サファイア | 10nm/min |
| 石英ガラス | 100nm/min |
試験後
左：イットリア付石英ガラス
右：石英ガラス
腐食性ガスにより失透
技術情報
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物性データ（physical property）PDFデータ：ダウンロード
密着力試験データ（peel strength）PDFデータ：ダウンロード
パンフレット（PDFデータ）