
プラズマや腐食性ガスに対する耐食性に優れているイットリア(Y2O3)のCVDコーティング。
パーティクル低減などにより半導体装置部品の長寿命化に役立ちます。
特徴
弊社のコーティングは、アルミナの凸凹表面にも緻密にコーティングができる優れた段差被覆性があり、立体物に対しても緻密膜をコーティングできます。
・耐ハロゲン性
イットリア(酸化イットリウム)は、ハロゲン系ガスに対して非常に高い耐食性を有しています。
弊社では緻密なイットリア膜のコーティング技術を確立しております。
・段差被覆性
アルミナのような凸凹表面であっても、隙間なく緻密膜をコーティングすることができます。
・立体物へのコーティング
弊社のコーティングは平面上だけでなく、凹凸形状の立体物に対してもコーティングすることができます。


施工条件
処理温度 :400 ~ 500℃
処理サイズ:φ500mm x H200mm(大型装置)
φ150mm x H150mm(小型装置)
材質 :石英、セラミックス、金属
詳細はお問い合わせください。
耐プラズマ試験
エッチング速度はサファイアの約1/10、石英ガラスの約1/100
エッチング速度 | |
CVDイットリアコート | 1nm/min |
サファイア | 10nm/min |
石英ガラス | 100nm/min |

試験後
左:イットリア付石英ガラス
右:石英ガラス
腐食性ガスにより失透
技術情報
不純物データ(impurity)PDFデータ:ダウンロード

物性データ(physical property)PDFデータ:ダウンロード

密着力試験データ(peel strength)PDFデータ:ダウンロード

パンフレット(PDFデータ)