プラズマや腐食性ガスに対する耐食性に優れているイットリア(Y2O3)のCVDコーティング。

パーティクル低減などにより半導体装置部品の長寿命化に役立ちます。

特徴

弊社のコーティングは、アルミナの凸凹表面にも緻密にコーティングができる優れた段差被覆性があり、立体物に対しても緻密膜をコーティングできます。

・耐ハロゲン性

イットリア(酸化イットリウム)は、ハロゲン系ガスに対して非常に高い耐食性を有しています。

弊社では緻密なイットリア膜のコーティング技術を確立しております。

・段差被覆性

アルミナのような凸凹表面であっても、隙間なく緻密膜をコーティングすることができます。

・立体物へのコーティング

弊社のコーティングは平面上だけでなく、凹凸形状の立体物に対してもコーティングすることができます。

CVDイットリアコート品
Y2O3膜断面SEM

施工条件

処理温度 :400 ~ 500℃

処理サイズ:φ500mm x H200mm(大型装置)

      φ150mm x H150mm(小型装置)

材質   :石英、セラミックス、金属

詳細はお問い合わせください。

耐プラズマ試験

エッチング速度はサファイアの約1/10、石英ガラスの約1/100

エッチング速度
CVDイットリアコート1nm/min
サファイア10nm/min
石英ガラス100nm/min

試験後
左:イットリア付石英ガラス

右:石英ガラス
  腐食性ガスにより失透

技術情報

不純物データ(impurity)PDFデータ:ダウンロード


 物性データ(physical property)PDFデータ:ダウンロード


 密着力試験データ(peel strength)PDFデータ:ダウンロード


パンフレット(PDFデータ)

CVDイットリアコート パンフレット