CVD装置

CVDイットリアコート／内面コート

・大型装置　　最大コートサイズ：外径 φ６００ mm x 高さ ２００ mm

・小型装置　　最大コートサイズ：外径 φ１５０ mm x 高さ １５０ mm

設備

クリーンルーム　クラス１０００

検査機器

・光学顕微鏡　50 ～500倍

・干渉膜厚計

検査・分析

弊社では薄膜の各種分析も行います。

  • SEM、EDS分析
  • 形状粗さ測定
  • XRF、XRD、XPS分析
  • 密着力試験
  • 高温フッ化試験
  • ナノインデンターによる硬さ測定