Equipment

CVD equipment

For CVD Yttria Coat

・Large CVD equipment　　Maximum coating size：O.D. φ５００ mm x height ２００ mm

・Small CVD equipment　　Maximum coating size：O.D. φ１５０ mm x height １５０ mm

設備

Clean room　class１０００

検査機器

・Optical microscope　magnification of a lens：50 ～500

・Interference thickness meter

検査・分析

We also perform various analyzes of thin films.

・SEM、EDS分析

・形状粗さ測定

・XRF分析

・密着力試験

・高温フッ化試験

・ナノインデンターによる硬さ測定