CVD装置

CVDイットリアコート/内面コート

・大型装置  最大コートサイズ:外径 φ600 mm x 高さ 200 mm

・小型装置  最大コートサイズ:外径 φ150 mm x 高さ 150 mm

Yaコート

・小型装置  最大コートサイズ:外径 φ150 mm x 高さ 150mm

設備

クリーンルーム クラス1000

検査機器

・光学顕微鏡 50 ~500倍

・干渉膜厚計

検査・分析

弊社では薄膜の各種分析も行います。

・SEM、EDS分析

・形状粗さ測定

・XRF、XRD、XPS分析

・密着力試験

・高温フッ化試験

・ナノインデンターによる硬さ測定