CVD装置

CVDイットリアコート／内面コート

・大型装置　　最大コートサイズ：外径 φ６００ mm x 高さ ２００ mm

・小型装置　　最大コートサイズ：外径 φ１５０ mm x 高さ １５０ mm

設備

クリーンルーム　クラス１０００

検査機器

・光学顕微鏡　50 ～500倍

・干渉膜厚計

検査・分析

弊社では薄膜の各種分析も行います。

・SEM、EDS分析

・形状粗さ測定

・XRF、XRD、XPS分析

・密着力試験

・高温フッ化試験

・ナノインデンターによる硬さ測定