プラズマや腐食性ガスに対する耐食性に優れているイットリア(Y2O3)のCVDコーティング。

パーティクル低減などにより半導体装置部品の長寿命化に役立ちます。

特徴

・優れた耐ハロゲン性

・優れた段差被覆性

・立体物へのコーティング

CVDイットリアコート品

Y2O3膜断面SEM

施工条件

処理温度 :400 ~ 500℃

処理サイズ:φ500mm x H200mm(大型装置)

      φ150mm x H150mm(小型装置)

材質   :石英、セラミックス、金属

詳細はお問い合わせください。

耐プラズマ試験

エッチング速度はサファイアの約1/10、石英ガラスの約1/100

エッチング速度
CVDイットリアコート1nm/min
サファイア10nm/min
石英ガラス100nm/min

試験後
左:イットリア付石英ガラス

右:石英ガラス
  腐食性ガスにより失透

技術情報

 不純物データ(impurity)PDFデータ:ダウンロード


 物性データ(physical property)PDFデータ:ダウンロード


 密着力試験データ(peel strength)PDFデータ:ダウンロード


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・CVDイットリアコート パンフレット