CVD equipment

For CVD Yttria Coat

・Large CVD equipment  Maximum coating size:O.D. φ500 mm x height 200 mm

・Small CVD equipment  Maximum coating size:O.D. φ150 mm x height 150 mm

For Ya Coat

・Small CVD equipment  Maximum coating size:O.D. φ150 mm x height 150mm

設備

Clean room class1000

検査機器

・Optical microscope magnification of a lens:50 ~500

・Interference thickness meter

検査・分析

We also perform various analyzes of thin films.

・SEM、EDS分析

・形状粗さ測定

・XRF分析

・密着力試験

・高温フッ化試験

・ナノインデンターによる硬さ測定